SEPOX
보호 산화층 위에 다결정 실리콘을 증착하고 그 위에 형성 시킨 질화 실리콘 박막이 마스크 역할을 하여 질화막을 반응성 이온 식각하고 산화 시키는 기술.
"세폭스"의 뜻 1개 중 1번째
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